Keithley 自動(dòng)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng) Keithley 參數(shù)分析系統(tǒng)分析系統(tǒng)配置是功率器件特性分析的完整分析方案，包括高質(zhì)量?jī)x器、電纜、測(cè)試夾具和軟件。提供7種配置，每種配置都具有快速檢查器件基本參數(shù)（例如擊穿電壓）的實(shí)時(shí)跟蹤模式和提取精密器件參數(shù)的*參數(shù)模式。參數(shù)曲線跟蹤儀配置的構(gòu)建塊法具有易于升級(jí)和客戶可重配置的優(yōu)點(diǎn)以滿足不同測(cè)試需求。

Keithley 自動(dòng)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)Keithley 參數(shù)分析系統(tǒng)吉時(shí)利PCT 參數(shù)分析系統(tǒng)配置 主要特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)

可設(shè)定的功率大小:

從200V 到3kV

從1A 到100A

寬度動(dòng)態(tài)范圍:

從uV 到3kV

從fA 到100A

電容-電壓測(cè)量方式:

±400V多頻C-V

200V斜坡速率C-V

20V極低頻（VLF）C-V

直流或脈沖I-V至50µs

高電壓和高電流通道具有24bit精密模數(shù)轉(zhuǎn)換器和18bit高速（1µs）數(shù)字轉(zhuǎn)換器

測(cè)試管理軟件包括用于實(shí)時(shí)控制的跟蹤模式和用于參數(shù)提取的參數(shù)模式

當(dāng)今的模擬和功率半導(dǎo)體技術(shù)（包括 GaN 和 SiC）要求進(jìn)行參數(shù)測(cè)試，以便最大限度提高測(cè)量性能、支持廣泛的產(chǎn)品組合以及最大限度降低測(cè)試成本。40 多年來，吉時(shí)利已經(jīng)在關(guān)鍵應(yīng)用中解決了這些問題以及其他重要挑戰(zhàn)，這些應(yīng)用包括工藝整合、工藝控制監(jiān)控、生產(chǎn)芯片分類（例如，晶片驗(yàn)收或已知的良好芯片測(cè)試），以及可靠性。

帶有 KTE 7 軟件的吉時(shí)利 S530 系列參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)提供高速、*靈活的配置，能夠隨著新應(yīng)用的出現(xiàn)和需求變化而不斷發(fā)展。S530 可進(jìn)行高達(dá) 200 V 的測(cè)試，而 S530-HV 可以在任何引腳上進(jìn)行高達(dá) 1100 V 的測(cè)試，與競(jìng)爭(zhēng)解決方案相比，吞吐量提高了 50%。KTE 7 的新增功能是促成直接對(duì)接探測(cè)器和原有探頭卡重新使用的可選系統(tǒng)測(cè)試頭，支持汽車標(biāo)準(zhǔn) IATF-16949 要求的系統(tǒng)級(jí) ISO-17025 引腳校準(zhǔn)，以及從原有的 S600 和 S400 系統(tǒng)進(jìn)行遷移的簡(jiǎn)單、最順暢的路徑，具有完整的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)性并提高了速度。

540 參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)全自動(dòng)化的 48 引腳參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，適用于高達(dá) 3kV 的功率半導(dǎo)體器件和結(jié)構(gòu)的晶片級(jí)測(cè)試。*集成式 S540 已針對(duì)包括碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 在內(nèi)的最新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料進(jìn)行優(yōu)化，可以在單次測(cè)試觸摸中執(zhí)行所有高電壓、低電壓和電容測(cè)試。

S500 集成式測(cè)試系統(tǒng)是高度可配置的、基于儀器的系統(tǒng)，適用于器件、晶片或暗盒級(jí)半導(dǎo)體檢定。S500 集成式測(cè)試系統(tǒng)基于我們經(jīng)過驗(yàn)證的儀器，提供創(chuàng)新的測(cè)量功能和系統(tǒng)靈活性，并且根據(jù)您的需求可進(jìn)行擴(kuò)展。有的測(cè)量能力結(jié)合強(qiáng)大而靈活的自動(dòng)化檢定套件 (ACS) 軟件，提供市場(chǎng)上其他同類系統(tǒng)無法提供的廣泛應(yīng)用和功能。

S530 功能

靈活的探測(cè)器接口選項(xiàng)，包括測(cè)試頭，支持原有吉時(shí)利和 Keysight 裝置

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 KTE 軟件環(huán)境

觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數(shù)的測(cè)試

通過全新系統(tǒng)參考單元 (SRU) 進(jìn)行全自動(dòng)系統(tǒng)級(jí)校準(zhǔn)符合最新質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)

KTE 7 中的運(yùn)行狀況檢查軟件工具最大限度地延長(zhǎng)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間和提高數(shù)據(jù)完整性

內(nèi)置的瞬態(tài)過電壓和/或過電流事件保護(hù)可大程度地減少代價(jià)高昂的系統(tǒng)停機(jī)或?qū)斐蓳p壞

符合 ISO-17025 校準(zhǔn)要求并支持 IATF-16949 合規(guī)性

提供 SECS/GEM 與 300 毫米晶圓廠的集成

S540 功能

在單次探頭觸摸中自動(dòng)在多達(dá) 48 個(gè)引腳上執(zhí)行所有晶片級(jí)參數(shù)測(cè)試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測(cè)量，而無需更改電纜或探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施

在最高達(dá) 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測(cè)量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動(dòng)配置測(cè)試引腳

在高速、多引腳、全自動(dòng)測(cè)試環(huán)境中實(shí)現(xiàn)低電平測(cè)量性能

基于 Linux 的 Keithley 測(cè)試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件支持輕松進(jìn)行測(cè)試開發(fā)和快速執(zhí)行

非常適合于過程集成、過程控制監(jiān)控和生產(chǎn)芯片分類中的全自動(dòng)或半自動(dòng)應(yīng)用

通過大程度減少測(cè)試時(shí)間、測(cè)試設(shè)置時(shí)間和占地面積，降低擁有成本，同時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室級(jí)測(cè)量性能

S500 功能

全量程源測(cè)量單元 (SMU) 儀器技術(shù)規(guī)格，包括 subfemtoamp 測(cè)量，確保在幾乎任何設(shè)備上都能執(zhí)行廣泛的測(cè)量。

適用于內(nèi)存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。

利用支持 Keithley 系統(tǒng)的可擴(kuò)展 SMU 儀器，提供低或高通道數(shù)系統(tǒng)，包括并行測(cè)試。

適用于測(cè)試功率 MOSFET 和顯示驅(qū)動(dòng)器等測(cè)試器件的高電壓、電流和功率源測(cè)量?jī)x器。

開關(guān)、探頭卡和布線保證系統(tǒng)*適用于您的 DUT。